1、前言

        在半導體建筑材料資料心片和智能家居控制電源電路新工藝中，的原資料、晶圓、心片的各種測式是必不宜少的過程。發生變化半導體建筑材料資料心片各種測式新技術的經濟發展，小數化源表SMU緊密聯系檢查探頭臺的系統化組合起來早已被大量技術應用于的原資料/小功率配件的電學特征參數證實中。小數化源表SMU應具源測模塊，能行成線電壓-線電壓(I-V)特征參數曲線圖，是半導體建筑材料資料心片的原資料、功率配件電穩定性定量分析預估的核心內容；檢查探頭臺有一鍵、手動式的和全會自動的八種，基于各種測式要挑選模塊化的品牌既能。在運用時要特別注意檢查探頭的才質各種針尖的直徑與圖案，檢查探頭才質多種，其電阻值不會重復；于此，檢查探頭尖摩擦和被污染也會對各種測式畢竟導致危害。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、電極、DUT銜接表示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢測器臺與源表的相連比較普遍有倆種，這種在運用同定位中心線相連，另這種在運用三同定位中心線相連。當預估小電壓(nA、pA)時，應在運用三同軸呼叫轉移引擎和三同定位中心線纜。在接入使用源表防護下測試英文英文電源電路中，在三同軸的防護層與內芯彼此是等電極電位，不會起漏電壓產生，能提升 小電壓測試英文英文精確度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣層；3內攔截層；4中央層；5外攔截層；6外保護套）

圖：三同定位軸線纜等效電路設計圖

  上圖右圖為三同中心數據線等效電路原理圖，內容輸出高級HI和Guard間的電位差差基本上為0，故而消失數據線人體的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S型號整流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸連結器與普普通通兩芯連結器有一定的其他，可同時接駁數據信息、接地極和手機屏幕了層，手機屏幕了體驗好。和多芯線材優于，三同中心線材構造容易，靠譜高；和兩芯同中心線材優于，更具最高的手機屏幕了耐磨性和小數據信息的接入特性。三同中心線材的連結的方式施用了GUARD數據信息，具備了手機屏幕了功效，更影響于小數據信息的量測。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

動用杜邦線轉BNC母頭完成相連接；

- 三同軸連接 -

利用三同軸呼叫轉移輸出模塊做連入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

單獨的使用三同中心線通過聯系；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將普通的的三同軸替換為油田專門三同軸網；進行髙壓三同軸直接線頭的擊穿電壓工作能力較差，普賽斯安全使用的進行髙壓三同軸直接線頭能夠 擊穿電壓3500V。

圖：左-超高壓三同軸、右-普通的三同軸

HCPL 100大電流源表

大工作工作直流電壓精確測量時，單根探頭允許的工作工作直流電壓有限制，工作工作直流電壓過大能夠會給予燒針不良現象，影向各種測試結果，所以說需用使用的多探頭并接。

圖：多探頭電容串聯展示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面金屬電極接示圖

圖：異面工業連入舉手

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。